(1) Pre-PVD müalicəsi, o cümlədən əşyaların təmizlənməsi və ilkin müalicə.Xüsusi təmizləmə üsullarına yuyucu vasitələrlə təmizləmə, kimyəvi həlledici ilə təmizləmə, ultrasəs təmizləmə və ion bombardmanı ilə təmizləmə daxildir.
(2) Onları sobaya qoyun, o cümlədən vakuum kamerasının təmizlənməsi və qurğuları, əşyaların və qurğuların quraşdırılması, işə salınması və qoşulması.
(3) Tozsoran, ümumiyyətlə 6,6Pa və ya daha çox nasosla, vakuum nasosunu saxlamaq və diffuziya nasosunu qızdırmaq üçün diffuziya nasosunun ön hissəsini əvvəllər açın.Əvvəlcədən isitmə kifayət etdikdən sonra yüksək klapan açılır və diffuziya pompası ilə 6 x 10-3 Pa yarım dibi vakuuma vurulur.
(4) Əşyaların istənilən temperaturda bişirilməsi, bişirilməsi.
(5) İon bombardmanı, vakuum ümumiyyətlə 10 Pa ilə 10-1 Pa arasındadır, ion bombardmanı gərginliyi 200 V ilə 1 KV arasında mənfi yüksək gərginlikdir və hücum müddəti 15 dəqiqədən 30 dəqiqəyə qədərdir.
(6) Əvvəlcədən ərimə, materialı əvvəlcədən əritmək üçün cərəyanı tənzimləmək, örtüyü əvvəlcədən əritmək üçün cərəyanı tənzimləmək və 1 dəqiqə ~ 2 dəqiqə ərzində qazdan təmizləmə.Buxarlanan çökmə.İstənilən çöküntü müddəti bitənə qədər buxarlanma cərəyanı tələb olunduğu kimi tənzimlənir.Soyutma, əşyalar vakuum kamerasında müəyyən bir temperatura qədər soyudulur.
(7) Əşyalar çıxarıldıqdan sonra vakuum kamerası bağlanır, vakuum l × l0-1Pa-a qədər boşaldılır və diffuziya nasosu texniki xidmət pompası və soyuducu su söndürülməzdən əvvəl icazə verilən temperatura qədər soyudulur.